교류/산학
기계공학과 노진성 교수, ‘반도체 정밀 검사 핵심 기술’ 민간 기업에 기술 이전
작성자기획과 조회수160 등록일2026-10-14
- ‘단촬상 타원분광법을 이용한 반도체 검사 장치’ 등록특허, ㈜뮤텍코리아에 기술이전
- 고속·고정밀 반도체 광학 검사 기술의 사업화 및 국산 검사 장비 경쟁력 강화 기대
□ 우리 대학 기계공학과 노진성 교수가 개발한 차세대 반도체 광학 검사 기술이 국내 반도체 검사 장비 전문기업인 ㈜뮤텍코리아에 이전되며 산학협력을 통한 연구 성과의 기술사업화 기반이 마련됐다.
○ 국립한밭대 산학협력단은 지난 9월 ㈜뮤텍코리아와 ‘단촬상 타원분광법을 이용한 반도체 검사 장치’(등록특허 제10-2515593호)에 대한 기술이전 계약을 체결한 후, 최근 등록특허 양도 방식으로 기술이전을 완료했으며, 기술이전 금액은 총 1억 5천만 원이라고 밝혔다.
□ 이번에 이전된 기술은 반도체 제조공정의 박막 두께 및 광학적 특성을 분석하는 타원분광법을 기반으로, 단일 촬상 방식을 적용한 정밀 광학 검사 기술이다.
○ 기존 타원분광 계측 방식과 비교해 측정 시간 단축 및 시스템 구성 간소화에 기여할 수 있는 기술로, 반도체 제조공정에서 요구되는 고속·고정밀 광학 계측 장비에 활용될 것으로 기대된다.
○ 특히 이번 기술이전은 대학에서 개발한 반도체 정밀 광학 계측 기술을 국내 장비기업의 제품 개발 및 사업화와 연계했다는 점에서 의미가 있다.
○ 기술을 이전받은 ㈜뮤텍코리아는 반도체 검사 및 광학 장비 관련 기술을 개발하는 기업으로, 이번 기술이전을 통해 차세대 반도체 광학 검사 장비의 사업화 기반을 강화할 수 있을 것으로 기대된다.
□ 기계공학과 노진성 교수는 “이번 기술이전은 대학의 연구 성과가 실제 산업 현장의 반도체 검사 장비 개발로 이어지는 의미 있는 성과”라며, “앞으로도 국내 기업과의 산학협력을 강화해 반도체 검사․계측 기술의 국산화와 산업 경쟁력 향상에 기여하겠다”고 전했다.
□ 한편, 노진성 교수 연구팀은 반도체 제조 및 첨단 패키징 분야의 정밀 계측, 비파괴 검사, 인공지능 기반 결함 분석 기술을 연구하고 있으며, 산업 현장에 적용할 수 있는 검사·계측 기술 개발에 주력하고 있다.