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응용소재공학과 박아현 대학원생·신소재공학과 이재웅 학부생, ‘나노코리아 2026’ 포스터 발표 은상 및 우수상 수상
작성자기획과 조회수49 등록일2026-07-15
- 산화물 반도체 박막·소자 연구, 국제 학술대회에서 우수성 입증
- 차세대 디스플레이 및 3차원 반도체 소자 등 전자소자 제조 공정 활용 기대
□ 우리 대학 응용소재공학과 나노박막소재연구실(지도교수 김정환) 박아현 대학원생과 신소재공학과 이재웅 학부생이 지난 8일부터 10일까지 열린 ‘나노코리아 2026(NANO KOREA 2026) 컨퍼런스’에서 The Best Poster Awards 은상(Silver Prize)과 우수상을 각각 수상했다.
○ 나노코리아 컨퍼런스는 과학기술정보통신부와 산업통상자원부 공동 주최 하에 2003년부터 매년 개최되고 있는 국내 최대 규모의 나노기술 국제 학술대회이다.
□ 먼저 박아현 대학원생이 발표한 연구는 ‘Enhanced Properties of ZnO Thin Films and TFTs by Two-Step Oxidation in ALD’로, 물과 오존을 연속적으로 공급하는 이중 산화 공정을 통해 산화아연(ZnO) 박막의 결함과 박막트랜지스터(TFT)의 전기적 특성을 개선한 내용을 담고 있다.
○ 해당 연구는 신소재공학과 김정환 교수의 지도 아래 이승훈 박사와의 공동연구로 수행됐으며, 연구팀은 산화제의 종류와 공급 순서에 따른 산화아연 박막의 특성 변화를 분석하고 박막트랜지스터에 적용해 박막의 품질과 소자의 전기적 성능을 개선할 수 있음을 확인했다.
○ 특히 이중 산화 공정의 적용 가능성을 제시하고, 산화제의 선택과 공급 순서가 박막과 소자의 특성을 제어하는 중요한 공정 요소임을 밝혔다는 점에서 의미가 있다.
□ 또, 우수 포스터상을 수상한 이재웅 학부생이 발표한 연구는 ‘Effect of Oxygen Partial Pressure on the Electrical, Structural, and Adhesion Properties of a-IGZO Films Using Sputtering’으로, 스퍼터링 공정에서 산소 분압 변화에 따른 비정질 인듐․갈륨․아연 산화물(a-IGZO) 박막의 전기적․구조적 특성을 분석하고 나노스크래치 테스트를 통해 접착 특성을 평가했다.
○ 이를 통해 산소분압 제어로 a-IGZO 박막의 전기적 특성과 접착 안정성을 함께 조절할 수 있는 공정 최적화 방향을 제시했다.
□ 김정환 교수는 “두 연구 성과는 향후 차세대 디스플레이와 3차원 반도체 소자 등 다양한 전자소자 제조 공정에 활용될 것으로 기대된다”며, “박아현, 이재웅 두 학생 모두 이번 수상을 계기로 더욱 자신감을 갖고 연구에 매진해 반도체 분야를 이끌어 갈 우수한 연구자로 성장하길 바란다”고 말했다.